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面陣相機(jī)

FTC7.5X-10/CIA-16K82

高倍率遠(yuǎn)心線掃鏡頭,半導(dǎo)體缺陷檢測,mini,micro led檢查

產(chǎn)品特點(diǎn) 典型應(yīng)用

  • 高倍率，高NA設(shè)計(jì)

    自帶科勒照明系統(tǒng)

    可選同軸，非同軸


  • 半導(dǎo)體檢測

    新材料缺陷量測


產(chǎn)品參數(shù)

FTC7.5X-10CIA-16K82

同軸

Ο

景深（um）

5.7

倍率(X)

7.5X

遠(yuǎn)心度（<degree）

0.03

工作距離（mm）

10

光學(xué)畸變（%）

0.04

分辨率（um）

1.5

相機(jī)傳感器尺寸

16K5um

數(shù)值孔徑（物側(cè)）

0.23

接口

M95

有效F/#

16.3

I/O（mm）

553


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